2018年1月4日，山东科芯电子有限公司组织成立验收工作组，对该公司的“节能环保型整流芯片技改项目”进行竣工环境保护验收。验收工作组由建设单位-山东科芯电子有限公司、环评报告编制机构-济南市环境保护规划设计研究院、验收监测报告编制机构-山东格林监测股份有限公司的代表和3位专业技术专家组成（名单附后）。验收工作组严格依照国家有关法律法规、建设项目竣工环境保护验收技术规范、本项目环境影响报告书和审批部门审批决定等要求对本项目进行验收。验收工作组听取了山东科芯电子有限公司关于项目及环保执行情况的介绍和山东格林监测股份有限公司关于项目竣工环境保护验收监测情况的介绍，现场检查了工程及环保设施的建设、运行情况，审阅并核实了有关资料。经认真讨论形成如下验收意见。

一、工程建设基本情况

（一）建设地点、规模、主要建设、投资情况内容

建设项目：节能环保型整流芯片技改项目；

建设单位：山东科芯电子有限公司；

项目性质：技改；

建设地点：章丘区明埠路中段东侧；

总投资：1200万元，其中环保投资 100 万元；

职工人数：原有300人，本次技改不新增员工。

年工作时数：三班制，年工作时间360天。

技改项目完成后，年生产芯片600万片/年，其中扩散型芯片576万片/年，GPP圆片24万片/年。

（二）建设过程及环保审批情况

该项目于2013年12月由济南市环境保护规划设计研究院编制《山东科芯电子有限公司节能环保型整流芯片技改项目环境影响报告表》，并于2014年03月14日取得章丘区环境保护局环评批复（章环报告书〔2014〕2号）；根据《建设项目竣工环保保护验收管理办法》，山东科芯电子有限公司于2017年9月委托山东格林检测股份有限公司进行项目整体验收。山东格林检测股份有限公司接受委托后组织技术人员勘察了现场，编制了《山东科芯电子有限公司节能环保型整流芯片技改项目验收监测方案》，于2017年9月 17日~18日进行了验收现场监测。

（三）验收范围

本次验收的项目由由主体工程、辅助工程、公用工程、环保工程组成，验收范围为该项目环评及批复内相关内容，对于涉及噪声、固体废物污染防治设施的内容，以当地环保部门的验收或批复意见为主。

二、工程变动情况

通过现场调查，对照环评报告和审批意见，该项目为技改项目，实际建设内容与环评及批复内容不一致之处主要有：

1、主要生产设备扩散炉的数量发生变动。环评批复新增生产设备扩散炉5台；实际新增生产设备扩散炉4台；企业承诺不再增加剩余的1台扩散炉。

2、生活污水处理设施发生变动。环评批复要求建设生活污水处理设施；实际生活污水经化粪池处理后进入生活管网。

3、废气处理设施位置发生变化。环评报告书废气处理设施在地面。实际废气处理设施由地面移到厂房顶部。

经与【2015】52号文对照分析，以上不属于重大变动。

三、环境保护设施建设情况

（一）废水

该项目生产过程中产生的废水分为生产废水和生活污水。生产废水主要有酸碱性废水、含氟废水、吹砂废水、各工序无法回用的清洗废水（一般清洁废水）、较清洁的清洗废水以及纯水站废水等，生活污水主要来源于职工生活办公。

生产过程中各工段产生的各种废水经厂区内污水收集管网统一汇集至生产废水处理站；较清洁的清洗废水经纯水装置提纯后重新回用；生活污水经化粪池处理后排放。生产废水和生活污水分别经管网排入章丘区第一污水处理厂进一步处理。

（二）废气

1）有组织废气

颗粒废气：来自3号车间吹砂工序，主要污染物为颗粒物，经过脉冲除尘设施处理后通过1根15m高排气筒排放。

酸碱性废气：主要来源于工艺流程中使用各种酸碱液对芯处理过程，包括预处理过程、扩散加工过程、GPP生产过程。主要污染物为氟化物、硫酸雾、HCl、 NH3、NOx等。酸碱性废气分别经内设填料喷淋层（碱喷淋）的集气罩收集处理后通过2根排气筒（3号车间排气筒高度17m，4号车间排气筒高度15m）排放。

有机废气：来自于异丙醇脱水、光刻及钝化等工序，主要污染物为非甲烷总烃。有机废气由车间集气罩收集后经光催化氧化处理后通过一根15m高排气筒排放。

食堂油烟废气：厂区设有食堂，采用天然气，提供厂区员工食餐。油烟废气经油烟净化器（生产厂家：北京京博华兴环保设备有限公司）处理后由高于屋顶1.5m排气筒排放。

（2）无组织废气

无组织废气为各生产环节及各类原辅材料的储存过程中产生的无组织排放废气，主要污染因子为：颗粒物、NOx、氟化物、硫酸雾、氯化氢、非甲烷总烃。

（三）噪声

技改项目主要噪声源为空压机、引风机及吹砂机。其中空压机、引风机位于室外，吹砂机位于车间内。通过采取基础减振隔振、室内布置、建筑消声等降噪措施。

（四）固体废物

1）危险废物： 项目运营过程中产生的危险废物主要为导热油炉使用过程中每 5 年产生的废导热油，废导热油于危废暂存场所收集后委托山东再生环境服务有限公司处置。

2）一般固废：

该项目产生的固体废物分为危险废物和一般固体废物。危险废物主要有废酸、含镍废物、废光刻胶、废显影液、废定影液、废异丙醇、废包装物等，一般固体废物主要有污水处理站污泥、不合格单晶片、废砂、生活垃圾等。

危险废物收集后均置于危废暂存间。危废暂存间已做防渗、张贴明显的危废标识、分类标识，并制定详细的危废管理制度，委托山东平福环境服务有限公司处置。

不合格单晶片由芯片生产厂家回收利用。废砂、生活垃圾由环卫部门及时清运，进行无害化处理。

（五）其他环境保护设施

1. 全厂建设160 m3事故废水收集池，确保非正常工况下的废水全部收集并妥善处理。

2. 该项目卫生防护距离为50米范围内未规划建设学校、住宅等环境敏感建筑物，距离该项目最近的敏感目标为西侧70m的济南交通高级技校。

3、企业已建立健全环境管理制度，制定了《山东科芯电子有限公司突发环境事件应急预案》，并在济南市章丘区环境保护局备案，备案号为：37081-2017-0126-L。

四、环境保护设施监测结果

（一）监测期间的生产工况

监测期间，该企业生产正常，工况稳定，生产负荷达到75%以上（两天监测生产负荷均为90%），满足验收监测技术规范要求。

（二）污染物达标排放情况

1、废气

监测期间，3号车间酸碱性废气排气筒出口中NOx、氟化物、氨最大排放浓度分别为5mg/m3、0.72mg/m3、2.49mg/m3，最大排放速率分别为0.081kg/h、0.011kg/h、0.040kg/h；4号车间酸碱性废气排气筒出口中NOx、氟化物、硫酸雾、氨、氯化氢最大排放浓度分别为6mg/m3、0.46mg/m3、<0.2mg/m3、1.85mg/m3、<0.2mg/m3，NOx、氟化物、氨、最大排放速率分别为0.189kg/h、0.015kg/h、0.059kg/h。监测结果均达到《大气污染物综合排放标准》（GB16297-1996）表2二级标准及《恶臭污染物排放标准》（GB14554-93）要求。

监测期间，3号车间吹砂废气排气筒出口中颗粒物的最大排放浓度为5.3mg/m3，最大排放速率为0.058kg/h，满足大气污染物综合排放标准》（GB16297-1996）表2二级标准及《山东省区域性大气污染物综合排放标准》（DB37/2376-2013）表2重点控制区要求。

监测期间，4号车间有机废气排气筒出口中非甲烷总烃的最大排放浓度为7.13mg/m3，最大排放速率为0.052kg/h，满足《大气污染物综合排放标准》（GB16297-1996）表2二级标准要求。

监测期间，食堂油烟净化器出口中饮食业油烟的最大平均排放浓度为0.47mg/m3，满足《饮食业油烟排放标准》（DB37/597-2006）表2小型限值要求。

监测期间，无组织废气颗粒物、NOx、氟化物、硫酸雾、氯化氢、非甲烷总烃的最大排放浓度分别为0.341mg/m3、0.060mg/m3、<9×10-4mg/m3、<0.005mg/m3、<0.02mg/m3、1.22mg/m3，均满足《大气污染物综合排放标准》（GB16297-1996）表2无组织排放浓度限值要求。

2、废水

监测期间，生产废水总排口（污水处理站出口）水质最大日均值分别为：pH在7.49~7.83之间、CODcr 未检出、氨氮未检出、悬浮物6mg/L、总磷0.12mg/L、全盐量534mg/L、镍未检出，监测结果均达到《山东省小清河流域水污染物综合排放标准》（DB37/656-2006）表4重点保护区标准、鲁质监标发[2011]35号、鲁质监标发[2014]7号、《电镀污染物排放标准》（GB21900-2008）表2要求的排放限值。

监测期间，镀镍工段车间出口镍最大日均值为0.016mg/L，监测结果达到《电镀污染物排放标准》（GB21900-2008）表2要求的排放限值。

生活污水经化粪池处理后排放到市政污水管网，本次未监测。

3、噪声

监测期间，监测点位厂界噪声昼间监测值在52.6dB（A）~58.2dB（A）之间，夜间监测值在44.3dB（A）~48.8dB（A）之间，监测结果均符合《工业企业厂界环境噪声排放标准》（GB12348-2008）2类功能区昼间60dB（A）、夜间50dB（A）标准要求。

4、固体废物排放、处置及综合利用措施

该项目产生的固体废物分为危险废物及一般固体废物。

危险废物有废酸、含镍废物、废光刻胶、废显影液、废定影液、废异丙醇、废包装物等；一般固体废物有污水处理站污泥、不合格单晶片、废砂、生活垃圾。

废酸、含镍废物、废光刻胶、废显影液、废定影液、废异丙醇、废包装物等危险废物，委托山东平福环境服务有限公司处置。目前危险废物暂存于危废暂存间。

不合格单晶片由芯片生产厂家回收利用。污水处理站污泥、废砂、生活垃圾由环卫部门及时清运，进行无害化处理。

五、验收结论

1、项目建设前期环境保护审查、审批手续完备。

2、项目主体及环境保护设施等总体按环评批复的要求建成，无重大变动，具备正常运行条件。

3、项目主要污染物排放满足环评批复标准要求。

4、项目建设及试运行期间，无环境投诉、违法或处罚记录等。

综上所述，山东科芯电子有限公司节能环保型整流芯片技改项目项目环保手续已经完备，技术资料基本齐全，执行了环境影响评价和“三同时”管理制度，基本落实了环评报告及其审批意见所规定的各项环境污染防治措施，各类污染物能够实现达标排放和满足总量管理要求，符合竣工环境保护验收条件。按《建设项目竣工环境保护验收暂行办法》（国环规环评[2017]4号）的规定，噪声和固废环保设施经章丘环境保护局验收或根据现场情况给予批复后，项目可正式投入生产运行。

六、建议和要求

1、按规范设置取样平台和取样口。

2、规范化排污口，做好环保设施运行台账，确保环保设施稳定达标运行。

3、加强公司环境风险管理，完善环境风险识别、环境风险隐患排查和治理，确保环境安全。进一步完善突发环境事件应急预案，落实环境风险防范措施，定期开展环境应急演练，提高应对突发环境风险事件的能力。

4、加强相关噪声源控制，确保厂界噪声达标排放。

5、验收监测报告应细化监测质量控制内容。

6、加强各类环保设施的日常维护和管理，确保环保设施正常运转，各项污染物长期稳定达标排放；如遇环保设施检修、停运等情况，要及时向当地环保部门报告，并如实记录备查。

验收工作组

2018年1月4日